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解决方案 |
上海千实工程师解析非蒸发型吸附泵的工作原理
作者:[db:作者] 来源: 阅读:  时间:2023-09-14 00:00 字体:[  复制 

标准集团(香港)有限公司作为一家集研发、制造、销售、培训、服务于一体的现代技术企业,上海泛标纺织品检测技术有限公司是内地销售公司,上海千实精密机电科技有限公司是负责工厂生产,致力于将更多检测仪器输送市场,提供纺织类、皮革类、燃烧类、汽车内外饰件、材料环境气候老化等等检测仪器,更可接受非标定制,购买前均可按照客户的要求进行针对性试验,确保所购仪器适用。 上海千实精密机电科技有限公司成立于2012年,专注于研发、设计及生产纺织测试仪器,为学术研究单位及检测机构提供纺织测试仪器和服务,上海千实是目前国内较有竞争力和研发实力的纺织检测仪器厂家之一,研发团队由一群经验丰富的工程师组成,本着全心全意为客户服务,努力推动纺织检测仪器技术革新而努力。

非蒸发型吸附(NEG)泵是利用材料的化学活性,进行表面吸附或者继续引起内部扩散而实现排气的泵,吸附材料主要是Zr84%Al16%或Zr70%V24.6%Fe5.4%的合金粉末。


和升华泵一样,主要针对氢气、氧气、氮气以及一氧化碳排气。


非蒸发型吸附泵不需要材料的热蒸发,对真空腔体没有污染;


近年来被广泛应用于加速器等大规模真空系统中。非蒸发型吸附泵和离子泵的组合使用,是获得极高真空的手段之一。


把升华泵、离子泵、低温泵和非蒸发型吸附泵都归类为吸附泵,下面计算一下它们的抽气速度。


吸附泵的吸附材料在单位时间和单位面积内捕捉到的分子数和入射频度F相等。


F和分子密度n、分子平均速度v的关系为


假设吸附材料的面积是A、吸附期间分子密度n保持不变,则Δt时间内吸附的气体分子数 ΔN等于FAΔt,即


则排气速度S为


因此排气速度S取决于分子的平均速度和吸附材料的面积(泵的有效开口)。


考虑实际上真空泵的吸附效率H,上式应改为


针对20℃的空气(相对分子质量为29,v=464m/s),则


如果有效开口面积A为20cm2,效率 H 为30%,则S=70L/s。


非蒸发型吸附泵的工作原理及抽速计算公式为。

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